产品名称：

隐裂、PL检测机
隐裂、PL检测机
隐裂、PL检测机

产品简介：

适用于投产边长尺寸182mm~230mm，厚度110-220μm，翘曲度＜3度的硅片，制绒前上料、激光SE下料、扩散（退火、氧化、镀膜、印刷）上料等隐裂、PL检测。

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  • 产品特点
  • 产品参数
  • 外形尺寸
  • 文件/手册/说明书

  •  硅片、电池片隐裂和外观检测，无需根据电池片的尺寸进行调节，可兼容230mm以下的电池片尺寸。

  •  产品功能：在线全自动检测隐裂、崩边、缺角、脱晶等各类内部缺陷。

  •  可检缺陷：隐裂、破片、缺口、正背崩边、点黑、圈黑、划痕、皮带印、块黑、手印、吸盘印、翻液、顶齿印、蓝齿印、水印、片内明暗差异、吸盘印、舟印、顶齿印、线痕、黑斑、黑边、黑角、脏污、白斑、烧结不均、断栅、同心圆等。

  • 适用工位：制绒前上料、激光SE下料、扩散（退火、氧化、镀膜、印刷）上料等

  • 检测指标：采图形方式（静态/动态）

  • 检测精度：0.1mm/pixel，隐裂 ：宽度≥20um，长度≥1mm，崩边 ：面积≥0.25mm²，破片 ：面积≥0.25mm² 

410×313×752mm